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产业专利数据

纳米压痕多模态显微镜机械生物学物镜

US14537096 2014-11-10 发明申请

2015-6-18

用于原位表征样品的机械和光学特性的方法和设备。该装置包括具有共用光轴的凹面主镜和凸面副镜的反射式显微镜，以及由凸面副镜渐晕的致动器，用于在具有沿着共用光轴的分量的方向上向纳米探针施加力。该设备还可以包括用于产生照明光束的光源、检测器和用于基于由检测器提供的信号形成图像的处理器。