| 电子显微镜的等离子清洗机 |
| KR1020140116933 2014-9-3 发明授权 |
| 2015-6-15 |
| 本发明涉及涉及吸尘器等离子体电子的显微镜。更具体地有效血(血浆)3用于产生等离子体的电极和气体的发生(多气体)注入的光刻本发明涉及一种有机清洁器。在本发明的一个相关联，例如样品，采用电子束的扩大线邻近每个所述清洗使用等离子体装置(清洗)，样品的内部，电子流用于利用形成真空，依次安装在所述腔室；和所述电子枪产生电子束，所述电子束产生，其输出至样品，该电子枪；由于对应的样品，该小医院电子束在电子透镜；预定范围的无线频率(射频)具有RF控制器；一种电路，用于产生信号1的数；和等离子体产生(等离子)，所述RF控制器的所述数量1信号，使用信号1号等离子体与活性氧自由基(氧基)和离子产生放电，所述活化的氧基团和离子等离子体供给到真空室内部的所述头；包括，被进给到真空室内部的所述活化的氧自由基和使用了离子的所述真空腔(污染)以降低可从其上卸下。 |
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