| 扫描电镜系统和使用其的图案测量方法，和扫描电子显微镜 |
| JP2013249249 2013-12-2 发明申请 |
| 2015-6-8 |
| 要解决的问题 : 3D所示的NAND镗孔过程中，非常高纵横比的开口孔/开口确定，或，顶部/底部的孔直径测量·检测，孔底中产生的检测反向散射散衬电子(BSE)。方法 : 在高加速度的加速电压初级电子束到样品，低角度(仰角5度以上，例如)通过检测背散射电子(BSE)，从底部排出的壁上穿，孔底处观察到的“BSE穿透”。此外，孔深穿透距离相对较长，因此，所述穿刺量利用的特性降低BSE的影像为暗，孔深的VS的校准曲线给定的亮度，所述孔的深度。选择的绘图 : 图1a |
微信公众号