| 分光装置，和，具有该共焦扫描显微镜 |
| JP2013235529 2013-11-14 发明申请 |
| 2015-5-18 |
| 要解决的问题 : 希望的波长的光可检测的检测效率高。溶液 : 该光谱装置10，光IL波长和光谱反射式Vph衍射光栅20，在反射式Vph衍射光栅201引起的衍射级衍射光，用于聚焦上述光源和光学系统50，1级衍射光聚光的聚光光学系统50设置的位置处，光学探测器60，在反射式Vph衍射光栅20由0级衍射光的光反射入射在反射式Vph衍射光栅20包括反射镜30。镜子30，和反射式Vph衍射光栅20平行于光栅表面具有反射表面31。镜子30，二次反射面3110的衍射光入射到衍射光入射在位置不，安装。选择绘制 : 图。2 |
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