产业集群信息网

产业专利数据

电子显微镜

KR1020130133118 2013-11-4 发明申请

2015-5-13

为公开电显微镜。根据本发明的一个实施例的电子显微镜，电子束扫描电子枪，以位置的电子枪的下方样品的样品，将样品定位位置，以及当用样品和电子束的电子的电子发射在样品的方法，使监视信号电子枪围成的环的内周面设置在形状一种包括二次电子检测装置。