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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

一种利用高能电子束测量电池内叠层偏移扫描电子显微镜系统及其方法

US14464325 2014-8-20 发明申请

2015-4-30

一种使用扫描电子显微镜系统测量覆盖偏移的方法，包括 : 使用着陆能量至少为10kV的初级电子束扫描单元内区域，所述单元内区域包括堆叠在样品中的下部结构和上部结构；检测从所扫描的单元内区域发射的电子；以及使用基于从扫描的单元内区域发射的检测到的电子生成的单元内区域的图像来测量相对于单元内区域中包括的重叠图案的重叠偏移。