| 补偿关键尺寸扫描电子显微镜检测图案倾斜的方法 |
| CN201310489519.6 2013-10-18 发明申请 |
| 2015-4-29 |
| 本申请公开了一种补偿关键尺寸扫描电子显微镜CD-SEM检测图案倾斜的方法，其特征在于，该方法包括：选择同一晶片的同一区域的图案，作为关键尺寸扫描电子显微镜CD-SEM的检测区域；选择CD-SEM的探测器不同的偏转角度，获得每个偏转角度所对应的检测区域的图案CD，得到偏转角度与图案CD的对应关系；根据偏转角度与图案CD的对应关系得到偏转角度与图案CD之间的拟合曲线；选取拟合曲线中的图案CD最小值所对应的偏转角度，作为CD-SEM探测器的偏转补偿值。采用本发明能够将倾斜的CD-SEM检测图案进行科学地倾斜补偿。 |
微信公众号