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使用单光路和图像检测器的显微镜稳定性

US13556996 2012-7-24 发明授权

2015-4-28

利用图像传感器的光学测量路径，通过主动反馈位置漂移校正，实现光学显微镜成像系统的三维稳定。成像系统的纳米级稳定性是通过使用稀疏分布在实验样品内或靠近实验样品的受托基准校正位置漂移来实现的。