| 电子显微镜 |
| JP2013212428 2013-10-10 发明申请 |
| 2015-4-20 |
| 要解决的问题 : 提供一种电子显微镜，能够防止X射线检测器从断裂因引入气体输送 X射线分析中的热量，其中气体引入和样品同时进行加热。方法 : 一种热屏蔽机构设置在X-射线探测器引入到电子显微镜和样品。 热屏蔽窗43的前部上设有X射线发射窗口2B的 X射线检测器。 热屏蔽帘之间设有X射线探测器和样品6。 准直器(2a)的X射线检测器为圆柱体形有孔的孔径小于样品上侧 X-射线的入射孔。版权 : (C)2015，补正 |
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