| […]和扫描显微镜的操作方法 |
| DE102013017124 2013-10-15 发明申请 |
| 2015-4-16 |
| 本发明涉及一种方法，用于操作扫描显微镜和用于确定点扩散函数与样品 由扫描显微镜图像被记录。 在这种方法它提供了一种扫描样品，通过至少一个照明光束， 至少一个样本图像的记录的检测器装置扫描显微镜的扫描期间由 照明光束， 并且所述点扩展函数，用一种由扫描显微镜记录样品图像来计算 所述至少一个样品图像。 使用由检测器装置具备接收元件， 距离，其小于衍射盘之间产生样品点在探测器装置。 检测器产生的信号通过所述接收元件在每种情况下读出用于不同的位置， 照明光束在样品上， 作为其结果， 通过样品的扫描，检测器读出的信号产生多个样本图像。 所述点扩散函数相对于在此定义了不同的检测器信号在每种情况下通过 一种照明点扩散函数和检测点扩散函数。 相对于所有检测器的信号， 匹配的照明点扩散函数被假定为根据不同的扫描运动检测器 信号。 另外， 相对于所有检测器的信号， 假定匹配检测点扩散函数以账户之间的空间偏移的检测器元件。 所述多个样本图像用于计算照明点扩散函数和检测点扩散函数， 和这些被用于计算点扩散函数相对于不同的检测器信号。 本发明还涉及一种对应的扫描显微镜。 |
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