扫描光学显微镜
 
US14483161  2014-9-11  发明申请

2015-4-16
 
  扫描光学显微镜,包括光源; 一个第一分束器将光转换成照射光与参考光; 一种第一物镜会聚照射光在样品和接收信号光; 一个第二分束器将信号光从光路; 销孔位于光路的位置处的分离信号的光的光学偶联物与 图像形成点第一的物镜; 聚光透镜会聚的分离信号的光在销孔; 相位板的输出第第一光包括至少四个先分光束具有不同的相位; 一个第三分束器,多路复用第一光以及第第二光产生干涉的光包括至少四个 二分光束具有不同的相位; 和光检测元件,其接收干扰光,并输出至少四个电信号。
 
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