光学和原子力显微镜集成多探针光谱测量系统在宽空间范围内的应用
 
US14367816  2012-12-13  发明申请

2015-4-16
 
  介绍了一种光学和原子力显微镜测量集成系统。 该系统具有原子力显微镜,该原子力显微镜具有配置成与待分析样品相互作用的第一探针、光镊子、配置成保持在光镊子的焦点中的第二探针、用于移动两个探针的移动装置、用于测量两个探针的位置变化的测量装置和配置成接收两个探针的测量信号作为输入以产生表示样品的输出信号的处理装置。
 
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