| 电子显微镜. |
| JP2013199129 2013-9-26 发明申请 |
| 2015-4-9 |
| 要解决的问题 : 提供一种电镜样品获取的显微镜图像放置在气体气氛下使用检测器需要电压的应用. 溶液 : 电子显微镜包括 : 一检测器,其检测电子照射样品产生与电子束从电子枪. 一种显示设备,其显示样品的显微镜图像的基础上输出从检测器. 一种装置,它测量的样本运动图像的基础上. 一种装置,该装置控制气体引入. 气体导入装置,用于发射气体到样品. 和气体控制装置,其控制量的气体排放气体导入装置使所述空间内的真空度,在该探测器安装持续保持在低于设定值时,气体排放的气体导入装置. 版权 : (C)2015,补正. |