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扫描电子显微镜

KR1020130113824 2013-9-25 发明申请

2015-4-6

本发明公开了一种扫描电子显微镜(SEM)下。该扫描电子显微镜包括柱通过施加发射电子工作功能上的能量通过施加热量或电场在真空状态，且包括电子炮产生电子束，聚光透镜，导流板，物镜，和一个孔，腔室提供了一种检测信号等二次发射的电子从样品通过至少一个检测器，和过滤器，过滤器安装在所述腔室的接口，通过电子束的电子光轴上凝结，块空气，并将电子束从柱到腔室。

版权kipo2015