| 用于检查显微镜样品光学显微镜和显微镜方法 |
| US14499344 2014-9-29 发明申请 |
| 2015-4-2 |
| 描述了显微镜样品的检查。 从多个试样记录中的每一个中获得试样的多个横向区域的高度信息，其中每个试样记录的高度信息限于相应的高度测量范围，并且不同试样记录的高度测量范围不同。 根据样本记录计算总体图像，其中组合不同样本记录的总体图像高度信息。 在这样的高度处记录试样记录 : 不同试样记录的高度测量范围彼此重叠，在两个相应的试样记录中识别共同的侧向区域，在这两个试样记录中可以获得侧向区域的高度信息，并且基于至少一个共同侧向区域的不同试样记录的高度信息来确定不同试样记录的高度信息的链接。 |
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