| 扫描探针显微镜的装置 |
| RU2013143064 2013-9-24 发明申请 |
| 2015-3-27 |
| 1。多探头传感器廓式的扫描探针显微镜，具有底座(1)，其上沿的外轮廓(2)的第一端部(3)固定在柔性悬臂(4)与探头(5)，带磨刃(6)在第二端部(7)，在柔性悬臂(4)与探头(5)表示探头模块(8)，其特征在于 : 底座(1)包括安装模块(9)，具有坐标参照与zondovomymi模块(8)。2。装置根据权利要求1，其特征在于 : 探头模块(8)具有单独的标记。3。根据权利要求1，其特征在于 : 柔性悬臂(4)具有不同的长度，和(或)不同，和/或不同的厚度。4。根据权利要求1，其特征在于，是，至少一个柔性悬臂(4)具有可变宽度和/或厚度是可变的。5。根据权利要求1，其特征在于，，至少，一个柔性悬臂(4)具有V形(11)。6。装置根据权利要求1，其特征在于 : 柔性悬臂(4)从相互不同的机械特性。7。根据权利要求10，其特征在于 : 探头模块(8)，包括涂层(15)，其可以导电，和/或铁磁的，和(或)磁，和/或压电。8。根据权利要求1，其特征在于 : 底座(1)具有可变的厚度。9。根据权利要求1，其特征在于 : 底座(1)由复合。10。根据权利要求1，其特征在于 : 底座(1)，至少，一个功能模块(25)，共轭，至少，一个与探头模块(8)。11。装置根据权利要求10，其特征在于，是，至少一个功能模块(25)由在形成的电 |
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