| 用于改进扫描电镜中样品存取的凹口磁性透镜 |
| US14490565 2014-9-18 发明申请 |
| 2015-3-26 |
| 一种磁浸没透镜装置,包括外极片和内极片,外极片和内极片之间具有靠近第一和第二极片的公共轴线的间隙。 所述外极片具有开口,所述开口允许来自所述浸没透镜前面的目标的高能粒子通过所述外极片到达外部检测器。 所述外极片或内极片在所述间隙附近具有一个或多个凹口,所述凹口包括至少一个扩大接纳锥的凹口,高能粒子可通过所述接纳锥从所述目标通过所述接纳锥到达所述外部检测器。 提供该摘要是为了遵守要求摘要的规则,该摘要将允许搜索者或其他读者快速确定技术公开的主题。 提交本发明时应当理解,本发明将不用于解释或限制权利要求的范围或含义。 |