| 原子力显微镜多共振检测系统 |
| US14460879 2014-8-15 发明申请 |
| 2015-3-26 |
| 一种多谐振检测系统(MRD)芯片，包括AFM尖端、悬臂和相对于悬臂和尖端分别定位的谐振器构件。 芯片可以由硅晶片制造。 通过谐振器构件的位移检测或致动尖端运动的频率。 刚性构件，其通过柔性构件联接到芯片，联接到谐振器构件并刚性地联接到悬臂，使得尖端能够运动。 谐振器构件包括离散谐振器杆阵列、单个谐振器杆或在连续频率范围内谐振的连续膜。 通过使用光反射角、电容、压阻或压应变技术测量谐振器构件的位移来检测尖端运动。 利用谐振器构件的位移和电容、压应变或压阻技术来致动尖端运动。 谐振器构件可被盖板包围和/或密封以用于在液体介质中进行测量。 |
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