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扫描电子显微镜

CN201310417650.1 2013-9-14 发明申请

2015-3-25

扫描电子显微镜是涉及一种电子显微镜的改进。本发明提供一种信噪比较高且立体感强的一种扫描电子显微镜。本发明包括物镜，其结构要点是：物镜设置在主机上方，物镜上方依次设置有扫描线圈、聚光镜和电子枪、扫描线圈通过扫描信号发生器与显示器相连，主机通过放大器与显示器相连。