| 近场扫描光学显微镜使用该方法的系统和探测器 |
| KR1020130136535 2013-11-11 发明授权 |
| 2015-3-24 |
本发明公开了一种近场扫描光学显微镜系统和探头使用其的方法。近场扫描光学显微镜本发明的系统包括 : 具有振动体的头部与探头组合在石英振动器和第一移动装置振动体的移动在Z轴方向；振动模块具有振动器的振动，振动体和传感器的感测输出电压振动体；样品台，其具有板，其上设有样品和第二移动装置移动板在X轴和Y轴方向；光信号模块，其具有信号转换器转换的光信号，采集的探头和照明装置照明样品，转换为射频信号；和反馈控制单元，其感测信号的信号转换器和振动的信号模块和控制器第一，移动装置和第二移动装置。近场扫描光学显微镜系统能够控制探头和表面之间的间隔的样品恒定的液体即使连续蒸发，同时测量液体中的样品由测量谐振频率和输出电压的振动体再次每当X轴方向上进行扫描的探针完成。
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