显微镜物镜机械测试仪
 
US14388744  2013-3-13  发明申请

2015-3-19
 
  一种物镜测试模块,包括配置成与显微镜的物镜转台耦合的模块基座。 目标测试模块包括机械测试组件。 所述机械测试组件被配置成在宏观尺度或更小尺度下机械地测试样品,并且基于所述机械测试定量地确定所述样品的一个或多个性能。 机械测试组件可选地包括探针和与探针耦合的一个或多个换能器。 传感器测量由探针施加到样品的力或探针在样品内的位移中的一个或多个。 在操作中,光学仪器将测试位置定位在样品上,并且物镜测试模块在测试位置处用机械测试组件在宏观尺度或更小尺度下进行机械测试。 机械测试组件还根据机械测试确定样品的一个或多个性能。
 
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