| 高分辨率扫描显微镜 |
| US14489885 2014-9-18 发明申请 |
| 2015-3-19 |
| 一种用于样品的高分辨率扫描显微镜和方法，具有 : 照明装置，用于照明样品；成像装置，用于横跨样品扫描至少一个点或线性斑点，并将点或线性斑点成像为检测平面中低于再现尺度的衍射受限的静态单幅图像。 还提供了一种检测装置，用于针对各种扫描位置检测检测平面中的单个图像。 提供了一种评估装置，用于评估用于扫描位置的单幅图像的衍射结构。 检测器装置具有检测器阵列，该检测器阵列具有像素并且大于单幅图像。 在物镜瞳孔内或其附近，或在与物镜瞳孔共轭的平面内，包括至少一个具有可变横向相位影响轮廓的相位掩模，用于产生照明光和/或检测光垂直于光轴的空间分布和/或沿光轴的方向的空间分布。 |
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