| 用于显微镜检查装置和方法 |
| US14389744 2013-4-5 发明申请 |
| 2015-3-19 |
| 本发明涉及一种显微镜装置，其具有至少一个用于提供照明光的光源，具有用于检测从样品辐射回来的光的检测单元，具有用于将照明光引导到样品上并用于将从样品辐射回来的光引导到检测单元的方向上的显微镜光学单元，以及设置在照明光路中的用于提供结构化照明的激励掩模(40)。 该器件的特征在于，所述激励掩模是空间结构滤光器，其对具有第一物理性质的光是透明的，并将空间结构压印到具有不同于第一物理性质的第二物理性质的光上。 本发明还涉及一种显微镜检查方法。 |
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