| 具有改进特征定位能力的扫描探针显微镜 |
| US14386511 2013-3-19 发明申请 |
| 2015-3-19 |
| SPM组件包括SPM和宽场图像采集装置，其可用于快速定位感兴趣区域并将该区域定位在100微米或更小的SPM扫描范围内。 宽视场图像获取装置可以包括具有超过12mm的宽视场的低分辨率相机和具有在单个mm范围内的视场的高放大率相机。 或者，如果单个相机具有足够的变焦能力以具有与两个相机相称的功能，则可以使用单个相机。 配置优选地用于协调低放大率和高放大率相机之间(如果使用单独的相机)以及高放大率相机和SPM之间的平移。 |
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