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扫描透射电镜和像差测量方法

WOJP14068078 2014-7-7 发明申请

2015-3-19

从ronchigram像差信息的采集容易错误的发生。这样，ronchigram成像时，焦点之间的位置关系的电子探针成像到样品表面或者在其附近其多种精细地高度方向，和所获取的ronchigram(聚焦调制ronchigram)用于测量像差。