| 电子枪，场发射电子枪，带电粒子束装置及透射电显微镜 |
| JP2011180851 2011-8-22 发明授权 |
| 2015-3-18 |
| 本发明的目的是抑制发生的照明弹和减少数量的二次在孔径引起的电子提供给电子枪的引出电极. 通过涂层薄膜具有低二次电子发射率，如碳，在所述孔上的一种引出电极的最接近的电子枪中的电子源，它可以减少产生的二次电子的量. 二次引出电极处产生的电子，减少了，因此作为结果，降低了火炬. 通过将两小孔引出的电极，和施加到两个孔等电位的电位到引出电极，它可以消除电场下的渗出在引出电极. 一种电子束撞击时产生的二次电子所述引出电极停止，从而产生力的方向中通道从引出电极，从而有一张开的降低. |
微信公众号