| 双检测共聚焦检测信息反射的显微镜和方法在使用该样品的高度 |
| KR1020130128066 2013-10-25 发明授权 |
| 2015-3-18 |
提供一种共焦显微镜和方法用于检测样品的高度上的信息。根据本发明的一个实施例,该共聚焦显微镜有多个销孔能够检测样品的高度上的信息基于传输反射光的强度通过销孔,和能够产生三个标本的三维图像基于检测到的信息在高度所述的试件。该共聚焦显微镜能够检测信息在标本的高度而无需机械移动该共聚焦显微镜和/或样本,和能够产生三个标本的三维图像,只需扫描样品在二维平面。该共聚焦显微镜包括 : 物镜通过该光发射到标本的传输和反射由该样品反射的光当光发射到标本上被传输;第一脚通过的孔第一从反射的反射光分体式光分束器传送;第二脚通过的孔第二从反射的反射光分体式光分束器在方向不同的第一反射的光透射;以及处理部,其检测标本的高度上的信息,它是通过共聚焦显微镜观察,基于第一第一反射的光的强度和第二强度的第第二反射光的光,其中第一和第二销孔具有不同的尺寸。
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