| 扫描电子显微镜用的平行径向反射镜分析器，具有倾斜的零伏等电位出射栅 |
| US14114170 2012-4-24 发明授权 |
| 2015-3-17 |
| 本发明公开了一种平行径向镜分析器(PRMA)(700)，用于促进由入射到样品上的带电束引起的带电粒子的旋转对称检测。 PRMA包括零伏等电位栅(728)和多个电极(702, 704, 706, 708, 710, 712, 714, 716, 718, 720, 722)，所述多个电极(702, 704, 706, 708, 710, 716, 718, 720, 722)被电配置成产生相应的静电场，用于根据带电粒子的相应能级偏转带电粒子以通过栅(728)离开，从而在检测器(206)上形成相应的二阶焦点。 检测器(206)设置在相应静电场的外部。 还公开了一种相关方法。 |
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