| 光学系统,用于生成用于时间变化模式的共焦显微镜 |
| DE102013218231 2013-9-11 发明申请 |
| 2015-3-12 |
| 本发明涉及一种用于产生随时间变化的光学系统用于共焦显微镜光图案源装配体(1,(12a),12b,12c),其光束的物体(7),反射光束,分束器(3),用于使从光源装置(1,(12a),12b,12c)中的出射光束方向的物体(7)和用于偏转从所述物体(7)在焦平面探测器反射的光束的方向(8)与检测器用于检测样本图像所述对象(7)和透镜阵列(4a,4b)之间的分束器(3)和物体(7)。特别是,光源装置(1,(12a),12b,12c)的至少一个光源(1)和装置(12a,12b,12c)上,开关的至少一个光源(1)与用于产生相对于其偏振方向改变发射的光束投影仪的样品(2)不移动掩模与投影仪样品(2)。 |