| 低漂移扫描探针显微镜 |
| US14520021 2014-10-21 发明申请 |
| 2015-3-12 |
| 一种扫描探针显微镜，例如原子力显微镜，以及包括Z台和桥结构的方法。 包含探头的扫描器安装到Z台，Z台可在Z轴上移动以升高和降低探头。 该方法使用热耦合到Z级和桥接器的加热元件、环境温度传感器和控制器的组合来减少Z级和桥接器的热漂移，所述控制器主动控制加热元件以将桥接器和Z级保持在升高的温度。 理想地，系统中的温度被选择为在AFM扫描期间减小探针和样品之间的漂移，其中对于约1°C的环境温度变化，漂移优选地保持在小于约1nm。 |
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