| 样品分析仪 |
| JP2011259686 2011-11-29 发明申请 |
| 2013-6-10 |
| 要解决的问题 : 所述的横截面是形成在所述样品后，所述样品级的运动或所述等，而无需任何操作，立即绕所述的横截面可以获取信息，以提供一种装置，用于分析样品。溶液 : 和电子束筒7，和离子束镜筒17，和被提供有一控制装置25; 23，通过加工的离子束15照射样品9，从而暴露所述样品的表面9在这种横截面为以分析是与所述电子束照射5，由于所述的横截面该样品9样品中分析仪，电子光束5以一平面垂直于所述的光学轴6在一预定倾斜角度和横截面，使得所述样品9中形成，以该样品9在所述该离子束的扫描离子束扫描的时间照射量的旋转可以设置由所述控制部分25，23和为，基于所述量的旋转通过所述离子束扫描所述扫描所述样品9所述前侧上形成的横截面中，所述样品的横截面9用于检测所述检测器9被设置。选择的绘制 : 图。2 |
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