| 扫描探针显微镜以及试样观察方法及其使用 |
| WOJP14069176 2014-7-18 发明申请 |
| 2015-3-12 |
| 本发明的目的是提高对比度的近场光学图像的近场扫描显微镜，它取决于折射率分布或样品表面层的介电常数分布，提高S/N比和测量近场光学图像的再现性。本发明提供了一种扫描探针显微镜，其设置有用于扫描测量探头和在其上面相对于样品在检查，激光照射的激光照射到光照射系统的测量探头，参考光产生系统，用于提取一部分的激光光，利用所提取的激光作为参考光，干涉光学系统，用于通过使散射产生干涉光之间的近场发射的光的测量探针样品检验结果下的激光照射与参考光干涉，和检测器，用于检测该干涉光。 |
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