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多用途样品台三维成像和精度控制在透射电镜样品架装置
WOKR13007700 2013-8-28 发明申请
2015-3-5
本发明涉及一种精密测角仪可同时驱动控制装置(X,Y,Z,α)和双倾翻架(β),用于多用途立体成像(原子结构,电子衍射,电子断层扫描仪和等)的纳米结构,通过透射电镜(TEM),根据本发明,该立体成像(原子结构,电子衍射,电子断层扫描仪和等)的纳米结构可以通过自动调节快速,方便地获得定向的样品在TEM。
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