| 扫描电子显微镜 |
| JP2013171993 2013-8-22 发明申请 |
| 2015-3-2 |
| 要解决的问题 : 本发明，电子射线透膜防止混淆由电子的电子传递时影响图像质量减少以提供扫描电子显微镜。溶液 : 本发明，样品6设置在预定位置可调节，压力室(3)，热弹性腔3和可拆卸的真空密封容器20，在真空密封容器20设置在一端的，照射到样品6发射电子枪21，相对于电子枪(21)设置在隔板壁24和设置有电子束透膜25，电子枪1和21之间的至少一个电子透膜25上设有孔27，所述电子束路径具有可更换的电子枪零件23和2，从电子枪(21)发射的电子照射样品6和电子光学组件组(4)设置在扫描式电子显微镜1，电子透膜25的电子光学组件组4设置在焦点上。选择绘制 : 图。1 |
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