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产业专利数据

扫描探针显微镜

US14194465 2014-2-28 发明申请

2015-2-26

一种扫描探针显微镜，包括载置样品的载物台、配置成测量样品的特性的探针、以及配置成在测量样品的特性期间使探针和载物台相对于彼此沿扫描轨迹移动的控制器。扫描轨迹包括多个线性段，其中每对相邻线性段形成90度或更小的角度。