| 一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置及方法 |
| CN201410682303.6 2014-11-24 发明申请 |
| 2015-2-25 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，包括底座，底座上设有样品台，样品台上端均匀设有若干固定架，固定架上端设有扫描探头，扫描探头内部设有与探针相匹配的探针架，样品台设置于探针架的前端，样品台内部设有可进行三维移动的样品移动装置，样品移动装置内设有扫描器，扫描器设置连接有位于样品移动装置内的Z向移动导轨，样品移动装置设有控制装置。本发明的有益效果为：本装置结构简单，容易操作，通过将扫描探头与样品台的结构一体化，使得两者之间结构回路缩短，有效降低了探针与样品之间的机械噪音，提高了仪器的精度和抗干扰性；另外在样品趋近时，样品能够完全垂直的接近探针，实现了对样品扫描区域的精确定位。 |
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