| 本发明提高质量的扫描带电粒子显微镜和扫描带电粒子显微镜 |
| JP2013153835 2013-7-24 发明授权 |
| 2015-2-18 |
| 所要解决的问题 : 提供一种技术，用于加强所述下层图案的多层对比度，通过合成从多个检测器的检测信号通过使用适当的分配比相对应的图案排列。溶液 : 在带电粒子束装置及其图像质量的图像质量的改进方法，其允许改进利用从多个检测器检测得到的图像，用于创建一个或多个输出图像的方法利用检测从各自对应的输出图像探测器在不同位置利用控制信息图案的方向或从设计数据计算边缘强度或检测图像。检测信号通过使用多个检测器范围扩大，对比度和图像质量等能提高通过合成所述检测用的图案信号方向或从设计数据计算或检测图像的边缘强度。 |
微信公众号