| 使用扫描电子显微镜处理设备和方法 |
| US14301403 2014-6-11 发明申请 |
| 2015-2-12 |
| 本发明提供一种使用扫描电子显微镜的处理设备，包括 : 扫描电子显微镜，其具有电子光学系统，该电子光学系统将聚焦电子束辐射和扫描到放置在台架上的样品上以成像样品；以及图像处理/控制部分，其控制扫描电子显微镜并处理通过用扫描电子显微镜成像获得的图像。 扫描电子显微镜的电子光学系统具有由静电电极构成的图像移动电极，图像移动电极在停止载物台的情况下移动将聚焦电子束施加到样品上的位置，从而移动待成像样品的区域。 |
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