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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

包括等温致动器扫描探针显微镜

US14456710 2014-8-11 发明申请

2015-2-12

本发明公开了一种单芯片扫描探针显微镜，其中所述显微镜包括等温二维扫描器和悬臂，所述悬臂包括集成的应变传感器和探针尖端。扫描器可操作用于围绕样品上的扫描区域扫描探针尖端，同时传感器测量尖端-样品相互作用力。扫描器、悬臂、探针尖端和集成传感器可以使用常规CMOS制造工艺的后端工艺来制造。此外，显微镜系统的小尺寸及其等温操作使得扫描探针显微镜阵列能够集成在单个基底上。