| 扫描电子显微镜 |
| WOJP14068529 2014-7-11 发明申请 |
| 2015-2-5 |
| 该扫描电子显微镜上设有 : 减速装置减速，电子束(5)当电子束通过物镜；和第一检测器(8)和第二检测器(7)，其设置在所述电子束和物镜透镜和具有敏感表面具有轴向对称的形状相对于光轴的电子梁。第一探测器设置在试样侧相对于第二检测器，和专门检测信号具有高电子能量通过减速场能量过滤器(9a)。当尖端(13)之间的距离在样品侧的物镜和敏感表面，第一之间的距离L1和检测器的尖端在试样侧的物镜和灵敏表面第二的检测器为L2，然后L1与L2≤5/9。作为结果，进行低加速度时观察使用的减速通过扫描电子显微镜方法，它可以检测信号电子而不遮光的效果在低放大率的放大率范围在一种高倍率为数百倍的至少100，为X。此外，它可以高效检测背向散射电子的，其生成的量的小于是二次电子。 |
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