| 使用静电电子显微镜的物镜 |
| EP13179026 2013-8-2 发明申请 |
| 2015-2-4 |
| 本发明涉及一种使用扫描电子显微镜柱设有用于生产电子源梁(100)电子，静电浸物镜，用于聚焦该光束在样品(102)，和检测器(116)在源侧的物镜，用于从液晶盒出射的电子检测样品，检测器，示出了用于使电子束孔，检测器至少部分地围绕光束，透镜设置有第一电极(110)，通过该光束进入透镜；和第二电极(106)，通过该束离开透镜，第一电极和探测器相对于第二电极电偏置，物镜用于电子展示角度放大Mα从样品，第第一部分的电子行进到检测器的检测器穿过孔和第二电子的行走部到检测器由检测器拦截。这种透镜后则趋向于显示一检测效率低，近轴线。发明人发现，通过施加适度的正偏压至样品，这可以弥补。 |
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