| 电子显微镜. |
| JP2013153167 2013-7-24 发明申请 |
| 2015-2-2 |
| 要解决的问题 : 提供一种透射电显微镜能够准确地获得衍射图案在纳米区，不电子束损伤. 溶液 : 一种透射电子显微镜包括 : 物镜照射到样本与从电子源发射的电子束汇聚传输电子，透射通过样品. 一检测器，检测传输通过样品传送的电子. 限位孔，该孔的下方设有物镜和限制传输电子. 一种电子束偏转器，其设置在所述样品上方，偏转电子束. 图像移位的折流板的下方设有物镜和透射电子的偏转. 和控制装置，利用电子束进行偏移的电子束偏转器使得任意测量区域所述样品照射电子束，调整所述图像移位偏转器偏转量使电子束传送通过所述样品流过通过限制孔径的孔. 版权 : (C)2015，隆起部. |
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