近场显微镜.
 
JP2013143196  2013-7-9  发明申请

2015-1-29
 
  要解决的问题 : 提供一种使近场显微镜工作距离物镜聚焦的光从光源在探头能够缩短,就使得数值孔径可更大. 溶液 : 一种近场显微镜1包括 : 悬臂3,其中探头2具有一个微开口部分(13)在尖设置. 光源4的光照射到探头2,和产生近场光. 物镜5聚焦光从光源4在探头2. 光检测器8,检测从样品(6)反射的光的强度与该NEA场光. 和石英振荡器(10)的形状具有一个振荡片的音叉叉式石英振荡器切割,和具有另一振荡片的振荡后,通过交流电压的应用. 悬臂3连接在平行于振动片11. 近场显微镜1相对扫描探针的2和样品6在二维平面,探头之间的距离,同时控制2和样品6上恒定的基础振荡状态的振动片11由于使用原子间力作用在探头2和样品6. 版权 : (C)2015,补正.
 
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