| 方法制作阶梯高度轮廓法规划成型零件的校正标准和扫描探针显微镜 |
| RU2013144213 2013-10-1 发明授权 |
| 2015-1-27 |
| 领域 : 测量设备。物质 : 半导体板是以与邻接的表面，其特征在于上，下的可用性的梯田连续正梯度海拔高度的，板放置到真空。热电退火进行。在第一直流经板，使电阻加热的板材料的温度活化的升华上一原子层中的原子。电流通过在平行于上，下平台之间的邻接表面。所述板指定的一段时间内加热段的外观与相反的负压梯度，高度相对于初始的一个在各个原子步骤，然后同样种类的通量原子在板材料发送给所述加热表面，相当或等于原子的通量离开该表面过程中升华。流量工作一段时间，提供用于形成簇从节单个单原子步骤与对负梯度的高度相对于所述初始的一个，含有紧密定位准确的统计量的单原子步骤与对负梯度的高度相对于初始的一个。在簇的两侧设有梯田，提供用于可再生表面浮雕的海拔高度测量的高精度。效果 : 测量的重现性，较高的凹凸特征的确定中的高度，提供规定的误差的测量值，提供的可能性的校准的校准标准与相同accuracy.16Cl，8的DWG |
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