| 结构化照明装置和结构化照明显微镜装置 |
| WOJP14002855 2014-5-29 发明申请 |
| 2015-1-22 |
| 以获得期望的超分辨率效果的每一个中的多个波长，结构化照明装置根据本发明的一个例子有用于衍射的衍射单元，成的多个衍射光束，从光源发射的光束用于发射光的多个波长的同时或顺序，和光学系统，用于形成，在样品表面，从所述衍射光束的干涉图案衍射的衍射单元。该光学系统包括第一光学系统，和第二用于收集光学系统衍射的光束在所述光瞳平面上的位置，或平面在瞳孔附近，第一的光学系统。该倍率特性(Dy(λ))为第二相对于波长光学系统满足以下条件。(Fo)NWAF Dyλ/P)≤(λ)≤(Fo)Na AF–=λ/P)和1(当m是1或2)或=2(当M≤3)，其中，M表示数的方向周期性结构的衍射单元，波长λ表示了每一个，Dy(λ)表示的图像之间的高度差为75D/72Fλ～/P为基准波长λ和图像高度为75D/72Fλ/P每个所述从所述多个波长的波长λ，当参考波长的多个波长λ为，用于表示焦距fo基准波长λ～第一的光学系统，f表示焦距基准波长λ～第二的光学系统，P表示的结构的周期衍射单元，NA表示的数量开口第一的光学系统，和NW表示样品的折射率。 |
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