| 用于降低电子亲合性的处理装置的活化室和试剂盒、包含该试剂盒的降低电子亲合性的处理装置、光阴极电子束源、包含光阴极电子束源的电子枪、自由电子激光加速器、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、电子束全息显微镜、电子束光刻装置、电子束衍射装置和电子束扫描装置 |
| WOJP14065606 2014-6-12 发明申请 |
| 2015-1-22 |
| 本发明提供一种用于降低电子亲和势的处理装置，所述处理装置能够在光阴极材料上执行EA表面处理或在光阴极上执行EA表面再处理，以及提供一种具有所述处理装置的电子束装置。 一种在处理装置中使用的活化室(20)，该处理装置通过蒸发表面处理材料(30)并使用蒸发的表面处理材料(30)在光阴极材料(52)上执行电子亲合性降低处理或在光阴极(52)上执行电子亲合性降低再处理来降低电子亲合性，所述活化室(20)的特征在于包含电子可以通过的空穴。 |
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