| 用于构建元素分布图像与透射电子显微镜 |
| DE102013011674 2013-7-11 发明申请 |
| 2015-1-15 |
| 本发明涉及一种施工方法的元素分布图像与透射电子显微镜， 其中样品与电子束穿过样品通过筛选和电子束 通过能量过滤器， 只留下内的电子能量窗的发生， 通过非弹性散射电子在一待显示在电子的能量降低的调节 相对于一次能元件。 用于系统的电子被过滤后的电子束， 光束穿过样品不，与检测器检测。 所提出的方法的特征在于 : 透射电显微镜进行操作以产生元素分布 照片[…]模式。元件分布图可以得到高图像质量的方法。 |
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