| 用于压缩扫描电子显微镜的系统和方法 |
| US14063319 2013-10-25 发明授权 |
| 2015-1-13 |
| 公开了一种扫描透射电子显微镜(STEM)系统。 该系统可以使用电子束扫描系统，该电子束扫描系统被配置为在基本上整个样品上产生多个电子束扫描，其中每个扫描在扫描过程中的电子照明强度变化。 信号获取系统可用于从扫描中获得图像、衍射图案或光谱、图像、衍射图案或光谱中的至少一个，所述图像、衍射图案或光谱仅表示来自包括图像的所有像素位置的选定子多个或线性组合中的至少一个的信息。 可以从该信息生成数据集。 子系统可用于对数据集进行数学分析，以预测由图像的每个像素位置产生的实际信息。 |
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