| profilometrov的校正标准和扫描探针显微镜 |
| RU2013130176 2013-7-3 发明申请 |
| 2015-1-10 |
| 领域 : 物理。物质 : 在参考由极化的压电材料制成的板，所述两个相对侧的电极连接，所述电极连接到一个恒定幅值和极性的电压源，一种元件连接到每个侧板与贴附式电极，所述板和几何尺寸的元件中的一个的选择，使移动元件当电压施加到电极。每个所述元件具有至少两个平面垂直于每个另，其中一个，用于每个元件，垂直于所述运动方向的一个所述元件当电压施加到电极，和另，其垂直于前，每个元件平行。效果 : 本发明能够进行三维校准探针显微镜和轮廓仪，拓宽了设备的使用范围，可作为校准标准轮廓仪和扫描探针microscopes.2DWG |
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