| 校准标准轮廓仪和扫描探针显微镜 |
| RU2013130176 2013-7-3 发明授权 |
| 2015-1-10 |
| 领域 : 物理。内容：在参考由极化的压电材料制成的板，其相对两侧的电极贴附，该电极连接到恒定幅度和极性电压源，一个元件被连接到每个侧板与贴附式电极，所述板和几何尺寸的元素的选择，使一个运动的元件当电压施加到电极。每个所述元件具有至少两个平面相互垂直的另，其中一个，每个元件，垂直方向的运动时元素的一个电压施加到电极，和另，其垂直于前，用于每个元件平行。效果 : 本发明能够进行探针显微镜三维校准和轮廓仪和拓宽该范围的设备，可作为校准标准轮廓仪和扫描探针microscopes.2DWG |
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